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真空等離子清洗機包括一個反應腔室、電源和真空泵組。樣品放置反應腔室內，真空泵開始抽氣至一定的真空度，電源啟動便產生等離子體，然后氣體通入到反應腔室，使腔室中的等離子體變成反應等離子體，這些等離子體與樣品表面發生反應，生產可揮發的副產物，并由真空泵抽出。
材料表面常常會有油脂、油污等有機污物及氧化層，在粘合、焊接、噴漆前需要用等離子處理來得到完全潔凈和無氧化層的表面。等離子清洗技術的最大特點是不分處理對象的基材類型，均可進行處理，金屬、半導體、氧化物和大多數高分子材料(如：聚丙烯、聚脂、聚酰亞胺、聚氯乙烷、環氧、甚至聚四氟乙烯等，是沒有極性的，這些材料在印刷、粘合、涂覆前要進行處理)等原基材料都能很好地處理，并可實現整體和局部以及復雜結構的清洗。